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日本ULVAC愛發(fā)科頻射電源

簡要描述：

日本ULVAC愛發(fā)科頻射電源
RMG-1303 是一款 13.56MHz、300W 射頻電源，內(nèi)置輸出匹配器，適用于射頻濺射和等離子 CVD 蝕刻等等離子體工藝。匹配器和射頻電源的集成使其更小、更輕。它可以從低輸出進(jìn)行控制，并且可以用于廣泛的領(lǐng)域，從研發(fā)應(yīng)用到批量生產(chǎn)設(shè)備。

更新時間：2025-06-27

訪問量：469

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

型號：RMG-1303

在線詢價聯(lián)系我們

產(chǎn)品介紹：

品牌	ULVAC/日本愛發(fā)科	供貨周期	現(xiàn)貨
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科頻射電源

特征

功率低至 1W 即可控制

標(biāo)配 500Hz~100kHz 脈沖射頻輸出功能能夠以低輸出功率進(jìn)行控制

標(biāo)配外部同步引腳

單相 100V~220V / 50Hz~60Hz 輸入范圍廣

200mm×200mm×350mm/10kg，小巧輕便的電源

CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS

規(guī)格

型		RMG-1303 系列
電源功能部分	輸入電壓	單相 AC100-220V
	輸入容量	700VA 以下
	頻率	13.56兆赫±0.01%
	Forword 力量	300W （50Ω 負(fù)載時）
匹配函數(shù)部分	額定功率	300 瓦
	額定電流	10 臂
	額定電壓	2500Vpp/-2500Vdc（標(biāo)準(zhǔn)） *1
	輸出電極/選項	2-M4（標(biāo)準(zhǔn)）/N，HN，DIN7/16 *2
公共部分	冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷
	尺寸尺寸（W×D×H）不包含突起項	200×350×200（毫米）
	重量	約 10 公斤
	標(biāo)準(zhǔn)	CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS（歐洲）

*1 額定電壓可作為選項進(jìn)行更改。
*2 可以選擇更改為連接器輸出類型。

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