| 品牌 | ULVAC/日本愛發科 | 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,綜合 |
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日本ULVAC愛發科真空閥
日本ULVAC愛發科真空閥
| 型 | VLP-SA 系列 |
| 閥板上 最大允許壓差（正壓/反壓）MPa | 0.10 |
| 開啟方向的最大容許壓差（正壓/反壓）MPa | 0.10 |
| 板密封 | O 型圈 |
| 饋入件 | O 型圈 |
| 沖動 | 雙作用氣缸 |
| 外部泄漏率*1帕?米3/秒 | ≦1.0E-10 |
| 內部泄漏率*1帕?米3/秒 | ≦1.0E-10 |
| 工作壓力范圍 （絕對壓力） Pa | 大氣壓 ~ 1.0E-5 |
| 烘烤溫度 （停止時）*2°C | 本體：150*3， 驅動：70 （指示器： 60） |
| 工作環境溫度 °C | 5~70 |
| 流體溫度 °C | 5~70 |
| 加熱和冷卻速度 °C/h | ≦30 |
| 工作環境 | 無腐蝕性 |
| 流體 | 無腐蝕性 |
| 壓縮空氣到氣缸 MPaG | 0.40 ~ 0.60 |
| 保證作周期*4 | 100,000 |
| 取向 | 無限制 |
| 位置指示器 | 可選（單獨出售） |
| 主要部件材料（真空側） | 不銹鋼 304 |
| 主要部件材料 （氣氛側） | 不銹鋼 304，鋁 6061（陽極氧化鋁） |
| 波紋管材料 | ー |
| 密封材料（真空側） | FKM |
| 潤滑脂（真空側） | 氟潤滑脂 |
| 升降附件 | 沒有*5 |
| RoHS 指令 | 遵守 |
*1 泄漏率不包括 O 形圈中的滲透。在 O 形圈軸密封饋入裝置的情況下，打開和關閉過程中的外部泄漏不受調節。
*2 烘烤時請勿打開和關閉。
*3 對于 VLP-MB 和 VLH-MB，打開位置的最高主體烘烤溫度：200°C （392F） 和關閉位置：150°C （302F）。
*4 有關詳細信息，請參閱使用說明書。
*5 VLP-SA350JH 包括升降附件（吊環螺栓 M12 x 2 個）。
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