| 品牌 | ULVAC/日本愛發科 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發科自動型光譜橢偏儀
日本ULVAC愛發科自動型光譜橢偏儀
特征
高速測量：實現快照測量方式，高速測量每點 20ms。
可見光譜范圍：可以選擇光譜波長范圍。標準型為 530nm 至 750nm，可見光譜型為 380nm~760nm。
緊湊型傳感器單元：傳感器單元重量輕且非常緊湊。它由一個沒有任何旋轉機構的光學元件組成。此外，無需任何定期維護。
強大的產品線：擁有強大的產品線，包括便攜式、手動/自動載物臺型、內置式和大型基板型等。
測量透明或半透明的薄膜厚度 （D）、反射指數 （N） 和消光系數 （K）。（氧化膜、氮化物膜、光刻膠膜、ITO 膜等）
| 型 | 1500 安培 | 2000 安培 | 3000 安培 | |
| 波長范圍 | 530 至 750 納米或 380 至 760 納米 | |||
| 光斑尺寸 | Φ1mm 或 Φ0.3mm | |||
| 入射角 | 70° | |||
| 薄膜厚度可重復性 | 1σ = 0.1納米 | |||
| 膜厚測量范圍 | 1納米~2微米 | |||
| 測量時間 | 采樣時間 ： 20ms 至 3000ms 分析時間 ： 300ms | |||
| 樣品臺 | Φ150毫米 | Φ200毫米 | Φ300毫米 | |
| 最大自動可測量積分 | 200點 | 200點 | 2,000點 | |
| 控制 PC | 筆記本電腦，包括分析軟件 | |||
| 配置 | 測量單位。控制單元。控制 PC（筆記本電腦型）和作手冊 （CD）。 | |||
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