日本KASUGA春日靜電點位監視裝置

長處

• 放大器部分（驅動電路部分）內置于檢測單元中，使其價格低廉且緊湊。

• 可以以較低的成本構建過去昂貴的靜電監測系統。

• 可以通過開關改變測量范圍，并且可以進行從低電位到高電位的廣泛測量。

• 它配備了檢測傳感器的故障指示 LED，可以輸出到外部。

用

• 平板顯示器生產過程中的電荷監控。

• 半導體晶圓電荷監測。

• LSI 處理和 PCB 運輸期間的電荷監控。

規范

日本KASUGA春日靜電點位監視裝置

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